本文全面解析了DUV曝光尺寸，從基礎(chǔ)概念到實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行了詳細(xì)闡述。首先介紹了DUV曝光的基本原理和關(guān)鍵參數(shù)，包括曝光時(shí)間、光源強(qiáng)度等。文章深入探討了DUV曝光尺寸的影響因素，包括光刻膠類型、基板溫度等。文章通過(guò)實(shí)例展示了DU...