UV曝光技術(shù)是一種利用紫外線光束對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光的技術(shù),在微納制造領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。通過(guò)精確控制曝光時(shí)間和強(qiáng)度,可以制造出高精度的微納結(jié)構(gòu),如納米線、納米孔等。UV曝光技術(shù)具有高分辨率、高精度、高效率等優(yōu)點(diǎn),可以用于制造微...
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