半導(dǎo)體制造中，掩模版曝光技術(shù)是關(guān)鍵一環(huán)，它決定了芯片的圖案和功能。本文深度解析了這一技術(shù)，包括其原理、應(yīng)用和挑戰(zhàn)。掩模版上刻有芯片設(shè)計(jì)的圖案，通過曝光機(jī)將圖案轉(zhuǎn)移到硅片上，形成芯片的電路和元件。，，曝光過程中，光源、掩模版和...