FPD(Flat Panel Display)曝光技術(shù)是平板顯示制造中的關(guān)鍵工藝,通過光刻工藝將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到基板上,其核心原理是利用紫外光透過掩膜版對光刻膠進行選擇性曝光,結(jié)合顯影形成所需圖形,核心技術(shù)包括高精度對準系...
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