】** ，曝光機(jī)作為精密制程設(shè)備，其核心結(jié)構(gòu)包括光源系統(tǒng)（如汞燈、LED）、光學(xué)模塊（透鏡、反射鏡）、掩模臺(tái)、工件臺(tái)及控制系統(tǒng)，工作原理基于光刻技術(shù)，通過(guò)紫外光照射掩模圖案，將其投影到涂有光刻膠的基板上完成圖形轉(zhuǎn)移，維護(hù)要...