北京液體曝光機作為微電子制造領(lǐng)域的一項突破性技術(shù),正引領(lǐng)行業(yè)邁向高效精密的新未來,該設(shè)備采用先進的浸沒式光刻技術(shù),通過液體介質(zhì)提升光學系統(tǒng)的數(shù)值孔徑,顯著提高了曝光分辨率和芯片制程精度,可支持7納米及以下節(jié)點的集成電路生產(chǎn),...
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