在微納世界中，涂膠、顯影與曝光技術(shù)是至關(guān)重要的，涂膠技術(shù)通過在硅片上均勻地涂覆光刻膠，為后續(xù)的加工過程提供基礎(chǔ)，顯影技術(shù)利用化學(xué)溶劑將光刻膠中的未曝光部分去除，形成所需的圖案，曝光技術(shù)通過光刻機將設(shè)計好的圖案轉(zhuǎn)移到硅片上，為...