曝光機是半導體制造中不可或缺的精密設備,其核心部件包括光源、透鏡、遮光板和光刻膠等,光源通過透鏡形成精確的光束,照射到硅片上,而遮光板則控制光束的形狀和位置,確保芯片上每個區(qū)域都能被精確曝光,光刻膠則作為“光之觸點”,在光的...
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