光刻技術(shù)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵技術(shù)之一，其核心在于光刻曝光緯度的控制，光刻曝光緯度是指曝光過(guò)程中，光刻膠的曝光能量與曝光時(shí)間之間的比例關(guān)系，它決定了光刻圖案的尺寸和形狀。，在光刻過(guò)程中，曝光能量和曝光時(shí)間的選擇對(duì)圖案的精度和分...