在微納世界中,蝕刻曝光材料扮演著至關重要的角色,它們是制造微電子器件、傳感器和生物芯片等微納結構的關鍵材料,通過精確控制曝光過程,可以制造出具有特定形狀和尺寸的微納結構,從而實現(xiàn)各種功能。,常用的蝕刻曝光材料包括光刻膠、電子...
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