本文揭示了曝光機(jī)光路圖的奧秘，展示了光影在微米級(jí)尺度上的藝術(shù)，通過精密的透鏡和反射鏡系統(tǒng)，曝光機(jī)將光源轉(zhuǎn)化為精確的圖案，用于制造微電子器件和光刻技術(shù)，文章強(qiáng)調(diào)了光路圖設(shè)計(jì)的重要性，包括光束的聚焦、偏轉(zhuǎn)和掃描等關(guān)鍵步驟，以及這...