LED曝光機(jī)與紫外光曝光機(jī)是兩種在微電子制造中常用的光刻技術(shù)設(shè)備，它們?cè)诩夹g(shù)原理、應(yīng)用領(lǐng)域和性能特點(diǎn)上存在顯著差異，LED曝光機(jī)采用LED光源作為曝光源，具有高亮度、高穩(wěn)定性和長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn)，適用于高精度、高效率的微電子制造，...