LED曝光機與紫外光曝光機是兩種在微電子制造中常用的光刻技術(shù)設(shè)備，它們在技術(shù)原理、應(yīng)用領(lǐng)域和性能特點上存在顯著差異，LED曝光機采用LED光源作為曝光源，具有高亮度、高穩(wěn)定性和長壽命等優(yōu)點，適用于高精度、高效率的微電子制造，...