曝光機(jī)曝光幕是半導(dǎo)體制造中用于將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上的重要設(shè)備部件,其更換周期主要取決于使用頻率、曝光能量、環(huán)境溫度和濕度等因素。,關(guān)鍵因素包括:,1. 使用頻率:高頻率使用會(huì)導(dǎo)致曝光幕磨損加劇,縮短更換周期。,2. 曝光能...
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