硅片曝光是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵技術(shù)，本文從基礎(chǔ)到實(shí)踐為讀者提供了全面的指南，首先介紹了硅片的基本概念、分類和特性，以及曝光過程中的關(guān)鍵參數(shù)和設(shè)備，接著詳細(xì)講解了光刻膠的選擇、涂膠、軟烘、曝光、顯影、堅(jiān)膜和檢查等步驟，并強(qiáng)調(diào)了每...