曝光機(jī)燈管是半導(dǎo)體制造中不可或缺的精密設(shè)備，其工作原理基于高能紫外光線的產(chǎn)生和精確控制，燈管內(nèi)部填充有高純度汞和稀有氣體，當(dāng)電流通過(guò)時(shí)，氣體被激發(fā)并發(fā)出高強(qiáng)度的紫外線，這些紫外線隨后經(jīng)過(guò)透鏡系統(tǒng)聚焦并照射到光刻膠上，使光刻膠...