ITO(Indium Tin Oxide)曝光技術(shù)是微納制造領(lǐng)域中一種重要的技術(shù)手段,其原理基于ITO薄膜的導(dǎo)電性和透明性,在微納制造過(guò)程中,ITO薄膜被用作掩模版,通過(guò)控制其上的圖案和形狀來(lái)精確地控制曝光過(guò)程。,在ITO曝...
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